ジスト、リソグラフィ、微細加工用材料の基礎と最新技術動向 11月9日（月）開催 主催：(株)シーエムシー・リサーチ
本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったウェビナー（ライブ配信セミナー）となります。
先端技術情報や市場情報を提供している(株)シーエムシー・リサーチ（千代田区神田錦町：
https://cmcre.com/）では、 各種材料・化学品に他、 エレクトロニクス関連などの市場動向・技術動向のセミナーや書籍発行を行っておりますが、
このたび「レジスト、 リソグラフィ、 微細加工用材料の基礎と最新技術動向」と題するセミナーを、 講師に遠藤 政孝 氏（大阪大学 産業科学研究所
招聘教授）をお迎えし、 2020年11月9日（月）10:30より、 ZOOMを利用したライブ配信で開催いたします。 受講料は、 一般：50,000円 + 税、
弊社メルマガ会員：45,000 円 + 税、 アカデミック価格は24,000 円 + 税となっております（資料付）。
セミナーの詳細とお申し込みは、 弊社の以下URLをご覧ください！
質疑応答の時間もございますので、 是非奮ってご参加ください。 メモリー、 マイクロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、 携帯端末、
情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっており、 5nmロジックノードとなっている。 本講演では、 これらのデバイスの微細化を支えるレジスト、 リソグラフィ、
微細加工用材料の基礎、 要求特性、 課題と対策、 最新技術・動向を解説し、 今後の展望、 市場動向についてまとめます。
1）セミナーテーマ及び開催日時
テーマ：レジスト、 リソグラフィ、 微細加工用材料の基礎と最新技術動向
開催日時：2020年11月9日（月）10:30～16:30
参 加 費：50,000円 + 税 ※ 資料付
＊ メルマガ登録者は 45,000 円 + 税
＊ アカデミック価格は 24,000 円 + 税
講 師：遠藤 政孝 氏 大阪大学 産業科学研究所 招聘教授
【セミナーで得られる知識】
・レジスト、 微細加工用材料の基礎知識
・リソグラフィの基礎知識・最新技術
・レジスト、 微細加工用材料の要求特性
・レジスト、 微細加工用材料の課題と対策
・レジスト、 微細加工用材料の最新技術・ビジネス動向
※本セミナーは、 当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。 推奨環境は当該ツールをご参照ください。 後日、
視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
2）申し込み方法
シーエムシー・リサーチの当該セミナーサイト
https://cmcre.com/archives/63053/
からお申し込みください。
折り返し、 視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
詳細はURLをご覧ください。
3）セミナープログラムの紹介
1. リソグラフィの基礎
1.1 露光
1.2 照明方法
1.3 マスク
1.4 レジストプロセス
1.5 ロードマップ
2. レジストの基礎
2.1 溶解阻害型レジスト
2.2 化学増幅型レジスト
3. レジスト、 リソグラフィ、 微細加工用材料の最新技術
3.1 液浸リソグラフィ
3.2 ダブル/マルチパターニング
3.3 EUVリソグラフィ
3.4 自己組織化（DSA）リソグラフィ
3.5 ナノインプリントリソグラフィ
4. リソグラフィの技術展望
5. レジスト、 微細加工用材料の技術展望と市場動向
4）講師紹介
【講師略歴】
1983年 松下電器産業（株）入社。 以来同社半導体研究センター、 パナソニック（株）セミコンダクター社 プロセス開発センターにて、 半導体リソグラフィ、
レジスト、 微細加工用材料の開発に従事。
2009年から大阪大学 産業科学研究所にて、 レジスト、 EUVレジストの研究開発に従事。
【学 会】
フォトポリマー学会企画委員長、 フォトポリマー懇話会企画委員長
【著 書】
「迫りくるAI時代に向けた半導体製造プロセスの今」（情報機構）[共著]他
5）セミナー対象者や特典について
※ 本セミナーは、 当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。 推奨環境は当該ツールをご参照ください。 後日、
視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★ 受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
【セミナー対象者】
・本テーマに興味のある企業の研究者、 技術者、 製造販売担当、 新規事業開発担当、 企画担当、 特許担当、 市場アナリストの方
・これらの職種を希望される学生の方
☆詳細とお申し込みはこちらから↓
https://cmcre.com/archives/63053/
6）ウェビナー（オンライン配信セミナー）のご案内
（1）シリコン量子コンピュータと周辺技術の研究開発動向
開催日時：2020年10月29日（木）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/62252/
（2）サムスンのQD-OLED, QD-Micro LEDで再び動き出す量子ドット
開催日時：2020年10月29日（木）13：00～16：30
https://cmcre.com/archives/63295/
（3）グラフェンの商用化に向けた研究開発動向と量産化への課題
開催日時：2020年10月30日（金）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/66382/
（4）5G・次世代自動車に対応するSiC/GaNパワーデバイスの技術動向と課題
開催日時：2020年10月30日（金）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/60722/
（5）5G応用に必要な特殊FPC（フレキシブルプリント配線板）の基礎と応用
開催日時：2020年10月30日（金）13：00～17：00
https://cmcre.com/archives/66093/
（6）金属ナノ粒子・微粒子 概論
開催日時：2020年11月2日（月）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/63112/
（7）グラフニューラルネットワーク入門
開催日時：2020年11月2日（月）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/64438/
（8）排水、 商品および環境中マイクロプラスチックの分析・調査方法の実況中継と最新結果
開催日時：2020年11月4日（水）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/62901/
（9）超音波接合の基礎とアルミ・異材接合への応用
開催日時：2020年11月4日（水）10：00～17：00
https://cmcre.com/archives/65287/
（10）電磁ノイズ低減を実現するシールド技術の基礎と応用
開催日時：2020年11月4日（水）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/62811/
（11）フラットパネルディスプレイ（FPD）を支える高機能材料と装置の最新動向
開催日時：2020年11月5日（木）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/64573/
（12）米中欧で加速するEV、 自動運転、 キーとなる車載カメラ・イメージセンサの市場・技術動向
開催日時：2020年11月5日（木）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/64240/
☆続々追加中！
☆開催予定のウェビナー一覧はこちらから！↓
https://cmcre.com/archives/category/seminar/webseminar_f/
7）関連書籍のご案内
☆発行書籍の一覧はこちらから↓
https://cmcre.com/archives/category/cmc_all/
以上