LD（原子層堆積）技術の基礎と最新動向 2月26日（金）開催 主催：(株)シーエムシー・リサーチ
2月26日（金）開催 主催：(株)シーエムシー・リサーチ 本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったウェビナー（ライブ配信セミナー）となります。
先端技術情報や市場情報を提供している(株)シーエムシー・リサーチ（千代田区神田錦町：
https://cmcre.com/）では、 各種材料・化学品などの市場動向・技術動向のセミナーや書籍発行を行っておりますが、
このたび「ALD（原子層堆積）技術の基礎と最新動向」と題するセミナーを、 講師に浦岡 行治 氏 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
教授）をお迎えし、 2021年2月26日（金）10:30より、 ZOOMを利用したライブ配信で開催いたします。 受講料は、 一般：47,000円 + 税、
弊社メルマガ会員：42,000 円 + 税、 アカデミック価格は24,000 円 + 税となっております（資料付）。
セミナーの詳細とお申し込みは、 弊社の以下URLをご覧ください！
質疑応答の時間もございますので、 是非奮ってご参加ください。 AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、
高機能で高品質の薄膜を形成することは、 非常に重要であす。 薄膜形成技術については、 古くからいろいろな手法が開発され、 LSI、 ディスプレイ、
太陽電池などのエレクトロニクスの分野で広く活用されてきました。 本セミナーでは、 近年、 特に注目を浴びているALD（原子層堆積）技術について、
その基礎と応用について概説します。 特に、 堆積の原理や材料について詳しく紹介します。 また、
薄膜トランジスタやパワーデバイスに応用した時の特長や課題についても紹介します。
1）セミナーテーマ及び開催日時
テーマ：ALD（原子層堆積）技術の基礎と最新動向
開催日時：2021年2月26日（金）10:30～16:30
参 加 費：47,000円 + 税 ※ 資料付
＊ メルマガ登録者は 42,000 円 + 税
＊ アカデミック価格は 24,000 円 + 税
講 師：浦岡 行治 氏 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教授
【セミナーで得られる知識】
・半導体プロセス技術全般（特にALD技術）・半導体デバイス技術（特にMOSデバイス）・半導体材料の評価技術（電気的/化学的/物理的）
※本セミナーは、 当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。 推奨環境は当該ツールをご参照ください。 後日、
視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
2）申し込み方法
シーエムシー・リサーチの当該セミナーサイト
https://cmcre.com/archives/67433/
からお申し込みください。
折り返し、 視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
詳細はURLをご覧ください。
3）セミナープログラムの紹介
1. 薄膜形成技術
1.1 薄膜作製の基礎
1.1.1 各種堆積技術の原理
1.1.2 各種薄膜の特長
1.2 薄膜の評価手法
1.2.1 電気的評価手法
1.2.2 化学的分析手法
1.2.3 光学的評価手法
2. ALD技術の基礎
2.1 ALD技術の原理
2.2 ALD薄膜の特長
2.3 ALD技術の歴史
2.4 ALD装置仕組み
2.5 ALD技術の材料
3. ALD技術の応用
3.1 半導体分野への活用状況
3.2 パワーデバイスへの応用
3.3 酸化物薄膜トランジスタへの応用
3.4 MOS LSIへの応用
4. ALD技術の将来
4.1 ALE技術
4.2 ALD技術の課題と展望
4）講師紹介
【講師略歴】
1985年 豊橋技術科学大学大学院 卒業
1985年 松下電器産業（株） 半導体研究センター 入社
1994年 松下電器産業 液晶開発センター
1995年 松下電器産業 液晶事業部
1999年 奈良先端科学技術大学院大学 助教授
2007年 同大学 准教授
2009年 同大学 教授
【活 動】
1. 応用物理学会 フェロー
2. IEEE シニアメンバー
3. IEEE/AMFPD 国際学会実行委員長
4. JJAP/APEX 副編集委員長
5. CMC出版「低温ポリシリコントランジスタの開発」
6. Intelligent Nanosystems for Energy, Information and Biological
Technologies（ISBN: ISBN: 978-4-431-56427-0 (Print) 978-4-431-56429-4 (Online)）
5）セミナー対象者や特典について
※ 本セミナーは、 当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。 推奨環境は当該ツールをご参照ください。 後日、
視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★ 受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
【セミナー対象者】
・半導体プロセス・デバイス技術者・学生/教員・企業関係者・研究企画関係者
☆詳細とお申し込みはこちらから↓
https://cmcre.com/archives/67433/
6）ウェビナー（オンライン配信セミナー）のご案内
（1）シランカップリング剤：反応メカニズムと使い方
開催日時：2021年2月16日（火）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/68409/
（2）～ グリーン・イノベーションの旗手 ～ ポリ乳酸の基礎から技術・市場開発最前線まで
開催日時：2021年2月16日（火）10：00～17：00
https://cmcre.com/archives/67351/
（3）造粒の原理、 装置選定・運転条件設定とトラブル対策
開催日時：2021年2月17日（水）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/66702/
（4）デジタルラボ入門 ～ ベイズ最適化を活用して；世界の動向と東工大・一杉研の取り組みを紹介 ～
開催日時：2021年2月17日（水）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/67612/
（5）蒸留技術の要点とAIを活用した応用研究
開催日時：2021年2月18日（木）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/66921/
（6）ゾル-ゲル法入門 ～ 多孔性材料の合成から利用まで ～
開催日時：2021年2月18日（木）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/67811/
（7）Excelを使ったデータ分析のための統計入門（演習）
開催日時：2021年2月19日（金）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/62922/
（8）オミックスデータ解析法：メタボロミクスからマルチオミックスまで
開催日時：2021年2月19日（金）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/68904/
（9）LED用蛍光体の技術開発と最新市場動向
開催日時：2021年2月22日（月）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/68170/
（10）ラジカル重合の基礎と反応解析、 注意点
開催日時：2021年2月22日（月）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/67094/
（11）リチウムイオン電池の劣化診断技術
開催日時：2021年2月24日（水）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/64391/
（12）セルロースナノファイバーの最新動向とプラスチック複合化技術
開催日時：2021年2月24日（水）12：30～16：30
https://cmcre.com/archives/69115/
☆開催予定のウェビナー一覧はこちらから！↓
https://cmcre.com/archives/category/seminar/semi_cmcr_f/
7）関連書籍のご案内
☆発行書籍の一覧はこちらから↓
https://cmcre.com/archives/category/cmc_all/
以上